France – Microelectronic machinery and apparatus – Equipement de dépôt LPCVD

Tender opportunity published by Isère on TenderSignal, the UK public sector tender monitoring platform.

Contracting Authority

Isère

Region

France

Contract Type

29

Source

TED

Le CEA Grenoble pour ses activités de recherche visant à développer les technologies SOI d'un diamètre de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un système LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) compact basé sur un seul tube vertical. Ce système devra traiter automatiquement des pla

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