Acquisition, installation, livraison et mise en service d'un dispositif de gravure ionique réactive utilisant des gaz fluorés pour le Centre de nanoscience et de nanotechnologies du CNRS
Centre national de la recherche scientifique
This tender has closed
The submission deadline for this contract has passed. There may be more active supplies tenders from Centre national de la recherche scientifique, and hundreds more across the UK public sector.
Key details
Procurement
- 22520000 Dry-etching equipment
What happened
Centre national de la recherche scientifique awarded this contract to SENTECH Instruments GmbH worth €299,116 on 23 Apr 2020.
Description
L’objet de ce marché concerne l’acquisition, la livraison et la mise en service d’un dispositif de gravure ionique réactive par technique plasma ICP-RIE (Inductively Coupled Plasma) utilisant des gaz fluorés et son raccordement aux servitudes et gaz. Ce réacteur sera dédié à la gravure du silicium, d’autres matériaux de la colonne IV (germanium, diamant…) des oxydes et des diélectriques. Le dispositif devra permettre de réaliser des gravures dans une gamme minimale de température allant de -20 ºC à +80 ºC.
Awarded supplier
Contact
Identifiers
Explore related tenders
External ID: ot-ocds-70d2nz-58dabcea-a0f7-4a89-acfc-1089972b9e30 • Added 12 May 2026