Tender opportunity published by UK public sector buyer on TenderSignal, the UK public sector tender monitoring platform.
Mit der zu Beschaffenden EUV-Quelle, inklusive Instrumentierung zur Charakterisierung der Emission sollen wissenschaftliche Aspekte beleuchtet werden. Dazu gehören vor allem Untersuchungen der Emissionsabhängigkeiten von den Parametern der eingestrahlten Laserleistung. Zusätzlich soll dieser Aufbau