France – Microelectronic machinery and apparatus – Fourniture d’un équipement de 300mm de polissage mécano-chimique

Tender opportunity published by UK public sector buyer on TenderSignal, the UK public sector tender monitoring platform.

Contracting Authority

UK public sector buyer

Region

France

Contract Type

16

Source

TED

Pour ses activités de recherche visant au développement des technologies FD-SOI 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 300mm de polissage mécano-chimique. L’équipement devra pouvoir polir des films métallique tels que le cuivre ou le tungstène ainsi que des matériaux barrières

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